【人気ダウンロード！】 比 誘電 率 一覧 100302 Mr Revaouto

無機ハイブリッド系(Sioc)が 提案され,そ の比誘電率は いずれも29～27程度であった8L9)。代表的なLowk材 料 の一覧を表1に 示す。 また,比 誘電率を低下させる方法として,耐熱性を有す る材料に空孔(空気の比誘電率1)を 導入する方法,いわ低比誘電率層6は、電極...